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STM7测量显微镜

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STM7测量显微镜

STM7显微镜具有卓越的多功能性,可以提供高性能的、三轴亚微米级精度的零件、电子元件的测量。无论样品大或小,简单或复杂,初学者或使用熟练者进行测量,奥林巴斯STM7系列,可以配置满足您需要的测量显微镜。

STM7显微镜具有优良的多用途性,能够以亚微米精度实现对零部件和电气组件的高性能三轴测量。无论待测样品是大的还是小的,测量内容是简单的还是复杂的,测量人员是新手还是专家,奥林巴斯STM7系列就是能满足您需求、为您量身打造的测量显微镜产品。

STM7 通过整合光学显微镜和先进的测量能力实现精确测量 
 


多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能

STM7系列采用了当前最先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。 
 

明场图像
明场图像
暗场图像
暗场图像
微分干涉图像
微分干涉图像
偏光图像
偏光图像













花岗岩精雕细琢而成的载物台基座增强了测量的可靠性

FEM分析
STM7-LF FEM 分析

为了进一步保证测量精度,STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性,使测量可到达亚微米水平,同时确保最大程度地降低误差。


作为高度测量的先锋,继续提供简单易操作的高精度3轴测量

跟踪对焦光路
主动反射,共聚焦自动聚焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为首家成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司,以此响应了这种与日俱增的需求。


严格的可追溯系统确保品质可靠

可追溯系统图
测量显微镜溯源系统

奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。 并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。


STM7在设计上非常重视易用性 

提供适合您样品尺寸的载物台

常见问题

  • 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。 
     

  • 目前为止,大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高。 
     

  • 由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量。

STM7解决方案

  • 共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100�mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会适合您要测量的样品。 
     

  • 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭。 
     

  • 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板。 
     

stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm


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