半导体检查显微镜MX63/MX63L

现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示（FPD）、印制电路板（PCB）等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

新MX63/MX63L显微镜是该系列首个支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

长寿命高强度白色LED照明：始终一致的色温

新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源，兼顾低功耗和长寿命的优点，而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。

功能性：适合所有晶园尺寸

新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于最大晶圆直径200mm，MX63L可用于最大晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

模块化：全面可定制

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

观察与分析工具

• 先进的分析工具

• 支持洁净室合规性的先进设计

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。

半导体晶圆上的结构

半导体晶圆上的光刻胶残留物

聚光镜

轻松生成全景图像: 即时图像拼接

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。

硬币的即时MIA图像

生成全聚焦图像: EFI

奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像，并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用，可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版（Desktop）离线情况下生成EFI图像。

集成电路芯片上的凸块

利用HDR同时捕捉明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异，从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，从而有助于生成具有专业级外观的报告。

从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法，即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也融入了交互测量功能的全部菜单，并且所有测量结果与图像文件一起保存以便存档。此外，奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供面向工作流的直观界面。点击按钮一下，图像分析任务即可快速精准完成。在大幅度缩减重复性任务的处理时间情况下，操作人员可以将精力集中在手边的检测工作上。

高效的报告创建

创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能，能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单，报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数字变焦和倍率放大。报告文件大小适中，通过电子邮件进行数据传递更加方便。